
Высокочистое химическое соединение из номенклатуры ООО «ДИСИКОМ». Актуальная спецификация, доступная фасовка, срок изготовления и коммерческие условия предоставляются по запросу.
ALD/CVD-прекурсор для получения плёнок нитрида и карбида кремния в технологиях микроэлектроники.